普洛帝PMT-2電子級超純水顆粒管控解決方案

什么是超純水？

超純水是指電阻率達到18MΩ^*cm（25℃）的水。這種水中除了水分子外，幾乎沒有什么雜質(zhì)，更沒有細菌、病毒、含氯二噁英等有機物，當(dāng)然也沒有人體所需的礦物質(zhì)微量元素，也就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水。

什么是電子級超純水？

集成電路的生產(chǎn)，幾乎每道工序都需要超純水進行清洗，工件與水直接接觸，而一方面芯片在加工過程中的微量玷污得到清洗，而另一方面純水中的微量雜質(zhì)又可能使芯片再污染，無疑對產(chǎn)品有著極大的影響。隨著集成電路程度的進一步提高，對水中污染物要求亦將更為嚴(yán)格，從六十年代末期，美國五家公司提出的集成電路用純水的水質(zhì)指標(biāo)以來，集成電路每前進一代，雜質(zhì)都要減少1/2-1/10。美國材料實驗學(xué)會（ASTM）1983、1990年頒發(fā)的電子級水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)，已不能適應(yīng)超大規(guī)模集成電路迅速發(fā)展的需要。目前ASTM提出了新的、更為嚴(yán)格的水質(zhì)指標(biāo)。

電子級超純水的顆粒管控解決新方案

電子級超純水的要求，就需要一款具備顆粒管控功能的儀器對超純水的水質(zhì)進行管控。對電子級超純水里粒子的大小和數(shù)量的多少進行監(jiān)控，進而判定電子級超純水的級別和潔凈度。普洛帝自主研發(fā)生產(chǎn)的PMT-2液體顆粒計數(shù)器，集成款專門是針對電子級超純水顆粒進行管控的儀器。儀器主機將取樣系統(tǒng)、檢測系統(tǒng)和顯示操作系統(tǒng)集成到一體，一臺儀器就可以完成實時、在線、不間斷的顆粒監(jiān)測。是超純水制備集成商，超純水應(yīng)用商，超純水清洗產(chǎn)線的顆粒監(jiān)控儀器。

PMT-2，液體顆粒計數(shù)器，采用英國普洛帝核心技術(shù)創(chuàng)新型的第八代雙激光窄光顆粒檢測傳感器，雙精準(zhǔn)流量控制-精密計量柱塞泵和超精密流量電磁控制系統(tǒng)，可以對清洗劑、半導(dǎo)體、超純水、電子產(chǎn)品、平板玻璃、硅晶片等產(chǎn)品的在線或離線顆粒監(jiān)測和分析，目前是英國普洛帝分析測試集團向水質(zhì)領(lǐng)域及微納米檢測領(lǐng)域的重要產(chǎn)品。